高频超声清洗这是一种兆赫兹级的高频超声清洗技术，微型超声波清洗及在使用中设置为频率高，空化效应已不起作用;

因此清洗的关键不是气泡，是高频压力波的擦洗作用，其对污物的去除率接近百分之百。

用户选择这种工艺的微型超声波清洗机主要用于超大规模集成电路芯片上的污物清洗，以及硅晶片、陶瓷、光掩模等特种污物的清洗。

聚焦式清洗

采用机械扫描聚焦式超声清洗的微型超声波清洗机，用户使用其去除喷丝板微孔中的污物脱离十分明显，清洁效果。

聚焦式清洗要求达到高的声强，市场上多选用的频率以低频为主。

多频清洗

在微型超声波清洗机内安装两种或三种以上不同频率的换能器，由多只发生器分别推动各自频率的换能器。

用户在使用中选择强度高的低频超声波，有利于对物体表面清洗。

选用高频超声波空化密度高，冲击波能穿达凹槽、细缝、深孔等细微结构。同时缸中有多种频率的超声波，有助于用户克服单频清洗驻波场造成的清洗不均匀问题。

扫频和跳频的清洗

的微型超声波清洗机内扫频和跳频清洗都是为了改善缸中的声场结构，前者解决了缸中的不均匀驻波场，使清洗均匀。

对于用户而言此种微型超声波清洗机不仅兼顾到高低频清洗，其换能器本身有两个谐振频率，具备高低频交替进行清洗，适用范围更广泛。